可以將質(zhì)譜測定技術與離子發(fā)射顯微鏡技術相結合作為現(xiàn)代儀器分析方法。能提供一般質(zhì)譜分析所不能提供的試樣微區(qū)質(zhì)譜。由于它能對固體物質(zhì)作微區(qū)、微量及深度成分分析，在某些條件下檢測靈敏度可達ppb數(shù)量級，因此被廣泛用于半導體、冶金、地質(zhì)和生物研究等部門。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面，濺射出表征試樣成分的二次離子束，通過磁場完成質(zhì)荷比分離，根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比和強度來進行定性和定量分析。
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2.金屬材料
?、贉y定各種鋼材和合金表面的鈍化膜、滲氮層、氧化墨中的成分；
?、跍y定各種金屬之間的相互擴散、滲透，了解其性質(zhì)；
?、蹨y定鋼和金屬的析出相、夾雜物、碳化物的成分、稀土元素以及硼、磷等在鋼材晶界上的偏析；
④測定注入到金屬表層中的摻雜元素的深度分布；
?、轀y定金屬表面的沾污和沾物的成分。
3.地質(zhì)礦物
?、贉y定隕石中微量元素含量及其分布，以及同位素的豐度比；
②測定月球上的稀土元素、堿土元素并與地球上的元素進行對比；
③測定長石中的氧、氟化鋰中的氟，云母中的鉀的擴散；
④測定礦物表面的氧化層的成分，找出佳的選礦工藝。
4.生物樣品
?、贉y定牙齒和軟骨組織中的微量元素的含量和鋰的同位素豐度比；
?、谘芯垦例X中的氟含量與齲齒的關系；
?、鄯治鋈~子中鈣、鉀、硼、鈉、鎂、錳等常見元素的含量，以便研究元素含量的影響。
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